線光譜共焦傳感器
?？凭€光譜共焦傳感器SG系列，基于同軸式光譜共聚焦技術(shù)開發(fā)而成，提供高達(dá)30KHz掃描速度，最大測(cè)量視野10.2mm，X方向分辨率可達(dá)1.9um，Z方向重復(fù)精度可達(dá)50nm，具有高精度、高速度、多功能、無接觸在線檢測(cè)等優(yōu)勢(shì)。
產(chǎn)品特征
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高分辨率，全域感知
輪廓線點(diǎn)數(shù)最高4096個(gè)，零陰影掃描
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超高精度，亞微米級(jí)解析
X方向分辨率可達(dá)1.9um，Z方向重復(fù)精度可達(dá)50nm
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無損探觸，安全保障
非接觸式測(cè)量，敏感元件無應(yīng)力損傷
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廣域覆蓋，超大視野
最大測(cè)量視野10.2mm，Z方向測(cè)量范圍可達(dá)2.5mm
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極速響應(yīng)，產(chǎn)能躍升
掃描速度最高可達(dá)30kHz
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配置靈活，高效測(cè)量
同軸光學(xué)設(shè)計(jì)，最大鏡面兼容角度±50°，易于安裝和系統(tǒng)集成
應(yīng)用案例
?？凭€光譜共焦傳感器SG系列不受材質(zhì)、形狀和反光的影響，對(duì)于深孔、縫隙、彎曲、透明等多種形貌或材質(zhì)的表面測(cè)量有著高度的適應(yīng)性，全量程都可保持高精度及高橫向分辨率，廣泛適用于半導(dǎo)體、消費(fèi)電子、PCB、動(dòng)力電池等多個(gè)精密制造領(lǐng)域。
產(chǎn)品規(guī)格
| 型號(hào) | SG4025 | SG1007 | SG1110 | ||
| 輪廓線點(diǎn)數(shù) | 4096 | 1280 | 1280 | ||
| 掃描速率 | 4.8~18kHz | 8.9~30kHz | 7.3~30kHz | ||
| X方向分辨率（輪廓線數(shù)據(jù)間隔） | 2.5μm | 1.9μm | 9.3μm | ||
| Z方向線性度 | ±1μm | ±0.25μm | ±4μm | ||
| Z方向重復(fù)性 | 0.25μm | 0.05μm | 1μm | ||
| 安裝凈距離 | 24mm | 6.7mm | 39.3mm | ||
| 測(cè)量范圍 | 2.5mm | 0.7mm | 11mm | ||
| 視野 | 10.2mm | 2.4mm | 11.9mm | ||
| 最大兼容角度 | ±30° | ±50° | ±12° | ||
| 尺寸 | 475.1mm x 183mm x 85mm | 438.6mm x 365mm x 99mm | 342.1mm x 365mm x 99mm | ||
| 重量 | 9.3kg | 13KG | 12KG | ||
| 數(shù)據(jù)接口 | GigE Vision（2.5G及以上） | ||||
| 輸入輸出 | 1路差分編碼器輸入；1路可編程輸入；1路可編程輸出 | ||||
| 整機(jī)功率 | 80W±5% | 65W±5% | 65W±5% | ||
| 電源 | DC 24V±10% | ||||
| 接口類型 | 信號(hào)接口：M12 Xcode 8芯；電源接口：M12 Acode 17芯 | ||||
| 防護(hù)等級(jí)(EN 60529) | IP55 | ||||
| 工作溫度 | 15℃~35℃ | ||||
| 環(huán)境濕度 | 20%~85% RH（無冷凝） | ||||
產(chǎn)品尺寸圖
